[2021-03-13]
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点光谱共焦测量显微系统特点:
1、物镜可以选用独立接口,也可以选用6孔鼻轮模组连接;
2、对国内外主流物镜均可适配;
3、光谱共焦模块结构简洁、测量精度高、速度快;
4、适合对观测面反射率高的表面适用,对透明物体表面同样适用;
5、光谱共焦模块测量与主成像光路共轴,不存在遮挡问题,且对焦检测光斑小,可以对槽、孔、凹坑等精准测量。
6、支持微分干涉观测方式;
7、可以与运动控制单元整合实现高速精准对焦。
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